SICA88

SiC功率器件已广泛应用于空调、光伏系统、轨道交通等领域，并有望在电动汽车等方面进一步普及，市场稳步扩大。然而，由于制造难度高，生产过程中仍会出现晶体缺陷等各种问题，在质量保证与成本方面面临较大挑战。晶圆制造商需要提升晶圆品质并加强质量管理，器件制造商则需要提高良率并进一步降低成本。

SICA88将基于共焦DIC光学的表面检测与PL检测集成于同一平台。表面检测可发现晶圆表面划痕与外延缺陷；PL检测可同时检测并高精度分类外延层中的基底面位错（BPD）与堆垛缺陷（SF）。在保持BPD检测的同时，实现了相比以往SICA6X翻倍的处理能力。该设备可作为晶圆/外延/器件各工艺的过程监控工具，用于追溯缺陷成因，并通过晶圆分级降低工艺成本、提升器件良率。