SICA108

SiC功率器件正在广泛应用于电动汽车（EV）、空调、光伏系统与轨道交通等领域，为实现脱碳社会做出贡献。然而，由于晶圆制造工艺复杂，生产过程中仍存在大量影响良率的缺陷，实现高质量晶圆的稳定量产与降低生产成本仍面临挑战。

为解决上述问题，我们推出了SICA108。SICA108在广受采用的行业标准机型SICA88基础上，焕新检测光学系，进一步提升吞吐量，并改善SiC晶圆的质量评估与COO（拥有成本）。与以往机型相同，表面检测可发现晶圆表面的划痕、晶体缺陷与颗粒等；PL检测可同时高灵敏检测外延层中的基底面内位错（BPD）与堆垛缺陷（SF）。同时，配备基于雷傣光电自研深度学习技术的高精度缺陷分类/判定功能，可早期发现并解析导致器件不良的缺陷。此外，还支持AGV/OHT等智能工厂自动化系统。