PELMIS系列

随着EUV市场的扩大，EUV保护膜的检测需求不断增长。此次产品化的PELMIS系列实现了带保护膜的EUV掩模保护膜面的异物检测及附着异物的正反面自动分类。还支持图案面及图案外周部的异物检测，是一款用途广泛的装置。

在保护膜安装后的EUV带保护膜掩模检测工序中，与光化※2EUV图案掩模缺陷检测装置ACTIS系列、EUV掩模背面检测/清洁装置BASIC系列、掩模边缘检测装置MZ系列并用，可实现EUV掩模的全面检测，有望进一步提高生产效率。