规格

检测区域与扫描方法

可检测光掩模中央146 x 146mm²以外的所有区域。※参见下图

MZ100是光掩模边缘缺陷检测装置。可高精度检测掩模边缘部分产生的缺陷，为掩模的质量管理做出贡献。

随着半导体器件的微细化不断推进，光掩模的质量管理要求更加严格。MZ100为了应对这些要求，提供高精度的边缘检测功能。