MRS193EX

MRS193EX是面向掩模制造中缺陷检测后缺陷观察的装置。通过短波长化实现高分辨率，对100nm以下的掩模图案和缺陷的审查有效。也可观察带保护膜的掩模，保持作业效率和精度。

使用高精度载物台，可通过缺陷检测装置的坐标数据轻松观察缺陷。此外，还具有自动检测视野内缺陷并高亮显示的功能，使审查更加顺畅。

该装置与MPM193EX采用共同平台，可通过选配添加位相移掩模的相位差·透过率测量功能、内置AFM（三维测量）、缺陷转印模拟软件联动。

MRS193EX是多功能、高性能的掩模缺陷审查装置，在掩模制造中的缺陷观察和质量管理方面发挥着重要作用。