MPM248

MPM248是用于KrF（248nm）波长的相位差测量系统，已成为行业标准。该装置直接使用与步进机曝光波长相同的波长进行相位差测量，因此能够准确测量在实际曝光条件下掩模的相位差特性。

MPM248不仅可以进行相位移掩模的相位差测量，还可以测量Att-PSM（半色调型相位移掩模）的透过率。这使得该装置能够全面评估相移掩模的性能，为半导体制造工艺提供可靠的质量保证。

该装置实现了对地面振动和系统内空气湍流的高稳定性，即使在恶劣的环境中也能保持高精度的测量结果。这一特点确保了在半导体制造现场稳定可靠的测量性能。