掩模空白片缺陷检测/审查装置
MAGICS系列 M6750/M6751
掩模空白片缺陷检测/审查装置
特点
兼顾高品质掩模空白片检测所需的高检测灵敏度与量产工厂出货·验收检测所需的高吞吐量的最新缺陷检测装置
基于已成为掩模空白片检测行业标准机的MAGICS核心技术，采用共焦光学系统的63束多光束扫描方式，搭载了针对光刻胶上缺陷优化的高S/N缺陷检测电路
通过提高光刻胶上缺陷检测灵敏度，可实现高水平且快速的工艺改善
M6751支持Line & Space图案检测，以及绘制&烘焙后潜像图案上的异物检测，适用于掩模车间的工艺管理
卡匣可支持从空白片制造商用的多层卡匣到掩模车间用的RSP、MRP等
应用
光刻胶涂布掩模空白片、基板、Cr膜、MoSi膜、半色调膜、绘制&烘焙后潜像图案掩模的检测
缺陷审查
规格
| 检测光源波长 | 532nm |
| 检测灵敏度 | φ50nm（石英基板上的PSL，普通模式） |
| 检测时间 | 12分钟/片（普通模式，检测区域142mm×142mm） |
| 对应基板尺寸 | 6025 |
MAGICS M6750/M6751是掩模空白片缺陷检测装置的最新机型。应对高灵敏度·高吞吐量化的需求，实现设计规则5nm世代以后的尖端半导体用掩模空白片缺陷检测。
基于MAGICS的核心技术，通过刷新检测光学系统，同时采用我们掩模图案检测装置培养的高速检测电路技术，大幅提升了微小缺陷的缺陷检测灵敏度。
从EUV用掩模空白片到光掩模用空白片、基板的缺陷检测，实现了高检测灵敏度的最新机型。在掩模空白片制造商的出货检测以及掩模车间的验收检测和工艺管理中得到了广泛应用。
