半导体掩模检测装置

半导体掩模检测装置

掩模制造

定期检查
ACTIS A300系列

Actinic EUV图案掩模缺陷检测装置

ACTIS A300系列

MATRICS X9ULTRA系列

掩模检测装置

MATRICS X9ULTRA系列

MATRICS X810EX系列

掩模缺陷检测装置

MATRICS X810EX系列

ACTIS A150

Actinic EUV图案掩模缺陷检测装置

ACTIS A150

MZ100

掩模边缘检测装置

MZ100

MATRICS X8ULTRA系列

掩模检测装置

MATRICS X8ULTRA系列

MATRICS X800LITE系列

掩模缺陷检测装置

MATRICS X800LITE系列

出货检查
PELMIS系列

EUV保护膜异物检测装置

PELMIS系列

MPM248

相移量测量装置

MPM248

MPM193EX

相位差/透过率测量装置

MPM193EX

MRS193EX

掩模缺陷审查装置

MRS193EX

空白掩模制造

验收检查
MAGICS系列 M6750/M6751

掩模空白片缺陷检测/评审装置

MAGICS系列 M6750/M6751

出货检查
MAGICS系列 M9650/M9651

掩模空白片缺陷检测/评审装置

MAGICS系列 M9650/M9651

器件制造

定期检查
ABICS系列 E320

EUV掩模空白片缺陷检测/评审装置

ABICS系列 E320

ABICS系列 E120

EUV掩模空白片缺陷检测/评审装置

ABICS系列 E120

Via工程
VIANCA系列

通孔深度测量装置

VIANCA系列

BGM系列

TSV背面研磨工艺测量装置

BGM系列

BIM系列

晶圆全自动测量装置

BIM系列

光刻工程
LX系列

多波长晶圆检测装置

LX系列

CIEL系列

高灵敏度晶圆边缘检测装置

CIEL系列