ACTIS A150

EUV掩模缺陷检测装置ACTIS "A150"是利用多年来积累的掩模图案检测技术和EUV光检测技术的世界首款EUV图案掩模缺陷检测装置。由于采用短波长EUV光的检测方式，相比传统使用DUV激光的掩模检测机，缺陷检测灵敏度大幅提升，并且可以检测EUV掩模特有的可转印相位缺陷。