半导体晶圆检测装置

半导体晶圆检测装置

功率器件

SICA108

SiC晶圆缺陷检测/评审装置

SICA108

SICA88

SiC晶圆缺陷检测/评审装置

SICA88

GALOIS211

GaN晶圆缺陷检测/评审装置

GALOIS211

晶圆

EZ系列

晶圆边缘形状测量装置

EZ系列

MAGICS系列 M5640

晶圆缺陷检测/评审装置

MAGICS系列 M5640

前端工艺

CIRIUS系列

高灵敏度内部缺陷检测/评审装置

CIRIUS系列

VIANCA系列

Via深度测量装置

VIANCA系列

中端工艺

CIEL系列

高灵敏度晶圆边缘检测装置

CIEL系列

BGM系列

TSV背面研磨工艺测量装置

BGM系列

BIM系列

晶圆全自动测量装置

BIM系列

其他

LX系列

多波长晶圆检测装置

LX系列