激光共聚焦
OPTELICS IR
搭载采用高亮度红外（IR）照明的共聚焦光学系统，实现非破坏、非接触的高分辨率红外观察以及高精度测量。
作为独具特色且高附加值产品群之一，我们主要面向研发用途，开发并销售用于观察与测量的共聚焦显微镜。
此次实现产品化的 “OPTELICS IR”，搭载采用高亮度红外线（以下简称 IR）照明的共聚焦光学系统，可在非破坏、非接触的条件下，实现高分辨率的 IR 观察与高精度测量。该产品对使用可透过 IR 的材料所制成的器件内部观察尤为有效，包括硅晶圆在内。 尤其在近年来迅速发展的先进封装市场中，本产品非常适用于研发及工艺改善用途，例如对准偏移测量、空洞（Void）检测以及粘接剥离的观察等。
特点
采用高亮度 IR 共聚焦光学系统
可在 1000～1500 nm 波长范围内进行高分辨率观察
可实现高精度的 XY 测量
通过 Z 轴方向的光学切片（Optical Sectioning）实现高度测量
用途
对具有 IR 透过特性的材料（如硅晶圆等）进行透射式内部观察
三维封装的评估与检测
先进封装器件内部缺陷分析
氧化膜牺牲层蚀刻的非破坏性蚀刻量测量
贴合偏移量测量
SOI 有源层厚度测量
