EZ300

特長

共焦点光学系による高コントラスト画像での欠陥検出

独自アルゴリズムによる凹凸判定を含む自動欠陥分類

高解像度3D測定機能により欠陥種類の特定・推測が容易

用途

オンラインQCによるウェハ外周部の定量管理と異常プロセス発生時の早期警報

SPC（統計的工程管理）によるウェハ外周部不良チップ発生時のトレース分析

ウェハ外周部欠陥による歩留まり悪化原因の把握・分析