PELMISシリーズ

EUV市場の拡大に伴い、EUVペリクルの検査需要が高まっております。このたび製品化いたしました、PELMISシリーズはペリクル付きEUVマスクのペリクル面の異物検査と付着異物の表裏自動分類を実現いたしました。パターン面およびパターン外周部の異物検査にも対応しており、幅広い用途でご使用いただける装置です。

ペリクル装着後のEUVペリクル付きマスク検査工程において、アクティニック※2EUVパターンマスク欠陥検査装置ACTISシリーズやEUVマスク裏面検査/クリーニング装置BASICシリーズ、マスクエッジ検査装置MZシリーズと併用することでEUVマスクの全面検査が実現し、生産性のさらなる最適化が期待されます。