MPM248

MPM248は、KrF（248nm）波長用の位相差測定システムで、業界標準となっています。この装置は、ステッパーの露光波長と同じ波長を直接使用して位相差測定を行うため、実際の露光条件下でマスクの位相差特性を正確に測定できます。

MPM248は、位相シフトマスクの位相差測定だけでなく、Att-PSM（ハーフトーン型位相シフトマスク）の透過率測定も可能です。これにより、この装置は位相シフトマスクの性能を包括的に評価でき、半導体製造プロセスに信頼性の高い品質保証を提供します。

この装置は、地面振動やシステム内の空気乱流に対する高い安定性を実現しており、厳しい環境でも高精度な測定結果を維持できます。この特徴により、半導体製造現場での安定した信頼性の高い測定性能が確保されます。