マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

MAGICSシリーズ M6750/M6751

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

特長

高品質マスクブランクス検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立した最新鋭欠陥検査装置

既にマスクブランクス検査の業界標準機となっているMAGICSの基幹技術であるコンフォーカル光学系を採用した63本のマルチビームスキャン方式をベースに、レジスト上欠陥に最適化した高S/N欠陥検出回路を搭載

レジスト上の欠陥検出感度が向上することにより、ハイレベルかつスピーディなプロセス改善が可能

M6751は、Line & Spaceのパターン検査の他、描画＆ベイク後の潜像パターン上の異物検査に対応した製品で、マスクショップでのプロセス管理に有効

カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向けRSP、MRPなどに対応が可能

レジスト塗布済みマスクブランクス、サブストレート、Cr膜、MoSi膜、ハーフトーン膜、描画＆ベイク後の潜像パターン付きマスクの検査

欠陥のレビュー

MAGICS M6750/M6751は、マスクブランクス欠陥検査装置の最新モデルです。高感度・高スループット化に対応し、設計ルール5nm世代以降の最先端半導体用マスクブランクス欠陥検査を実現します。

MAGICSの基幹技術をベースに、検査光学系の刷新とともに、当社マスクパターン検査装置で培った高速検査回路技術を採用し、微小欠陥の欠陥検出感度を大幅に向上させています。

EUV用マスクブランクスをはじめ、光マスク用ブランクス、サブストレートの欠陥検査に対して高い検出感度を実現した最新鋭機です。マスクブランクスメーカーでの出荷検査およびマスクショップでの受け入れ検査やプロセス管理で活用されています。