EUVマスク検査装置

BASICシリーズ

EUVマスク裏面検査/クリーニング装置

特長

EUVマスク裏面の異物検出に最適化した検査光学系

EUV露光に影響を及ぼす異物の高さ測定機能

EUV露光に影響を及ぼす異物のクリーニング（除去）機能

発塵リスクの無いデュアルポッドハンドリング方式

パターンにダメージを与えないスキャン方式

EUV量産において適用可能な検査時間

OHT(Overhead Hoist Transport)と連動した全自動検査

電源・制御系統を本体に内蔵したオ―ルインワン設計によるコンパクト化

ウェハファブにおけるEUVマスク裏面の定期管理・受け入れ検査

EUVマスク裏面の異物の検出・高さ測定・クリーニング

マスクメーカ、ブランクスメーカにおける出荷検査

装置本体サイズ	1,550 (W) x 2,955 (D) x 2,400 (H)
検査対象マスク	EUV masks (6 inch)
その他	お客さまのニーズに合わせて、BASICシリーズの検査、測定およびクリーニング機能の最適な組合せをご提案いたします。詳しくはお問い合わせください。

BASICシリーズは、EUVマスクの裏面検査とクリーニングを統合した装置です。EUVマスクの品質管理において重要な役割を果たし、マスクの裏面に付着した異物や汚れを検出・除去することで、マスクの性能を維持します。

EUVリソグラフィの実用化に伴い、EUVマスクの品質管理はより厳格な要求が求められています。BASICシリーズは、これらの要求に対応するため、高精度な検査機能と効果的なクリーニング機能を提供します。