ACTIS A150

EUV マスク欠陥検査装置 ACTIS「A150」は、長年培ったマスクパターン検査技術とEUV 光による検査技術を利用した世界初のEUVパターンマスク欠陥検査装置です。波長の短いEUV光を用いた検査方式を採用しているため、従来のDUV レーザーを用いたマスク検査機に比べ圧倒的に欠陥検出感度が高く、さらに EUV マスク特有の転写性位相欠陥の検出も可能です。