多波長ウェハ検査装置
LXシリーズ
多波長を用いた膜厚・エッチングばらつき・CDの全面高速検査
特長
高速・全面撮像が可能で量産工程のモニタリング・監視に最適
独自の高輝度、低ノイズ、多波長光学系による高感度化を実現
膜厚、エッチング量、CD等異なる検査対象に対応する独自の解析アルゴリズム
用途に応じて高分解能と高スループットモデルの選択が可能
用途
リソグラフィ工程におけるレジスト膜厚やCDのばらつき監視と異常検知
成膜工程における各種膜厚管理とプロセス装置QC
エッチング工程における深さばらつきの監視と異常検知
