MAGICSシリーズ M9650/M9651
特長
次世代高品質マスクブランクス欠陥検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立した最新鋭欠陥検査装置
既にマスクブランクス検査の業界標準機となっているMAGICSの基幹技術をベースに、検査光学系の刷新とともに、弊社マスクパターン検査装置で培った高速検査回路技術を採用
サブストレートのみならず、最先端半導体用マスクブランクス各層における欠陥検出感度を飛躍的に向上させ、より高品質なブランクスの選別が可能
カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向けRSP、MRP、およびEUVL向けDual podまで対応が可能
M9651は、ライン & スペースのモニターパターン検査に対応した製品で、マスクショップでの各種プロセス管理に有効
用途
EUVマスクブランクス、光マスクブランクス、サブストレートの欠陥検査
欠陥レビュー
欠陥サイジング
仕様
| 検査光源波長 | 532nm |
| 検出感度 | φ50nm（クォーツ基板上のPSL、ノーマルモード） |
| 検査時間 | 12分/枚（ノーマルモード、検査エリア142mm×142mm） |
| 対応基板サイズ | 6025 |
当社のマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置MAGICSシリーズは、長年にわたり高い評価と信頼をいただき、業界標準機としてマスクブランクスメーカーでの出荷検査およびマスクショップでの受け入れ検査やプロセス管理で活用されております。近年、最先端の微細化プロセスに対応するため、マスク技術においてもEUVや新構造マスクの適用などの様々な技術革新が行われております。これに対応するため、マスクブランクス検査のさらなる高性能・高機能化が急務となっております。
こうした次世代のニーズに対応すべく、この度当社はEUV用マスクブランクスをはじめ、光マスク用ブランクス、サブストレートの欠陥検査に対して高い検出感度を実現した最新鋭機M9650/51を開発しました。
M9650/51はMAGICSの基幹技術をベースに、検査光学系の刷新とともに、当社マスクパターン検査装置で培った高速検査回路技術を採用し、微小欠陥の欠陥検出感度を大幅に向上させています。
設計ルール5nm世代以降の最先端半導体用マスクブランクス欠陥検査装置で高感度・高スループット化に対応したMAGICSシリーズM9650/M9651（以下、M9650/51）を製品化しました。
