レーザー顕微鏡
OPTELICS IR
高輝度な赤外線（IR）照明によるコンフォーカル光学系を搭載し、非破壊・非接触での高解像度IR観察と、高精度な測定を実現します
特長
高輝度IRコンフォーカル光学系を採用
波長1000～1500nmでの高解像度観察が可能
高精度なXY測定が可能
Z軸方向のオプティカルセクショニングによる高さ測定が可能
用途
シリコンウェハなど、IRの透過特性を持つ材料の透過内部観察
3次元実装評価・検査
アドバンスドパッケージングデバイス内部不良解析
酸化膜犠牲層エッチングの非破壊エッチング量測定
貼り合わせズレ量測定
SOI活性層厚み測定
ユニークで付加価値の高い製品群の一つとして、主に研究開発用途での観察・測定を行う、コンフォーカル顕微鏡を開発・販売しております。
このたび製品化した「OPTELICS IR」は、高輝度な赤外線（以下、IR）照明によるコンフォーカル光学系を搭載し、非破壊・非接触での高解像度IR観察と、高精度な測定を実現します。シリコンウェハをはじめ、IRを透過する材料を用いたデバイスの内部観察に有効です。特に、近年急速な発展を遂げているアドバンスドパッケージング市場において、アライメントズレ測定、ボイド検査や接着剥がれの観察など研究開発やプロセス改善の用途に最適です。
