モデル				ベーシックモデルC3	スタンダードモデルL3	ハイエンドモデルL7
機能				白色コンフォーカル	白色コンフォーカル レーザーコンフォーカル	白色コンフォーカル レーザーコンフォーカル 微分干渉観察 垂直式白色干渉測定 反射分光膜厚測定
光源	白色光源			○
	レーザー光源			-	405nm
視野／倍率	光源	対物レンズ	モニター上倍率 （24インチ）	視野（H×V）
	白色	1×	18.5×	15,000 × 15,000 μm
		2.5×	46.2×	6,000 × 6,000 μm
		5×	92.5×	3,000 × 3,000 μm
		10×	185×	1,500 × 1,500 μm
		20×	370×	750 × 750 μm
		50×	925×	300 × 300 μm
		100×	1,850×	150 × 150 μm
		150×	2,775×	100 × 100 μm
	レーザー	50×	1,850×	150 × 150 μm
		100×	3,700×	-	75 × 75 μm
		150×	5,550×	-	50 × 50 μm
ズーム機能				1×～8×
画像情報			輝度	1,024×1,024×12 bit / 高精細モード2,048×2,048×12 bit
			高さ	1,024×1,024×16 bit / 高精細モード2,048×2,048×16 bit
フレームレート				15 Hz～120 Hz
幅測定	最小測定単位			0.001 μm
	正確さ			±［ 0.02×（100/対物レンズ倍率）＋L /1000］ μm
	繰り返し性 (3σ) ※1			10 nm
高さ測定	スケール分解能			0.05 nm
	正確さ			± (0.11+L/100) μm
	繰り返し性 (σ) ※2			10 nm
	測定範囲 ※3			7 mm
Zストローク				100 mm	100 mm	80 mm
レボルバー				5穴電動レボルバー（レンズ位置自動認識機能付き）
XYステージ	マニュアル			○		-
	電動			オプション		○
微分干渉観察機能				オプション		○
垂直式白色干渉測定機能				オプション		○
位相シフト干渉測定機能				オプション
反射分光膜厚測定機能				オプション
ソフトウェア	画像取得			HDRモード、パッチワーク、マルチゲイン、等
	画像処理			表面補正（傾き、球面）、ノイズ除去、フィルター、カラー抽出、二値化、等
	形状解析			プロファイル計測、比較計測、表面粗さ測定、幅・ピッチ計測、膜厚計測
	データ出力			専用拡張子、汎用画像ファイル、CSVファイル、STEPファイル
	効率化ツール			LMカルテ、フィルターアシスト、マクロ機能、粗さサジェスト、Officeレポート
ユーティリティ				AC:100-240V 50/60 Hz 約800 VA
サイズ・重量	顕微鏡本体			382（W） × 511（D） × 689（H） mm 約40 kg
	コントロールユニット			430（W） × 450（D） × 100（H） mm 約7 kg
	LED光源ユニット			142（W） × 279（D） × 210（H） mm 約3.8 kg
	ランプハウス			142（W） × 311（D） × 227（H） mm 約6.7 kg
	制御用パソコン			175（W） × 440（D） × 360（H） mm 約9 kg
	モニター			556（W） × 180（D） × 513（H） mm 約4 kg
トレーサビリティ対応				○

※1 振動のない環境で基準パターンを対物レンズ100×（NA0.95）を使用して測定した時の値です。
※2 振動のない環境でVLSIスタンダード社の標準段差を対物レンズ100×（NA0.95）を使用した時の値です。
※3 使用する対物レンズの作動距離以内となります。