ハイブリッドレーザーマイクロスコープ
業界初のハイブリッドレーザー顕微鏡
様々な場面であなたの仕事に
プラス
＋
を
自動測定（LIBRA）
自動化への対応でより効率的に
LIBRAは自動測定を行うためのソフトウェアです。ウェハやガラスなどの基板上に存在する微小欠陥や異物などを自動で全面測定します。測定結果から任意ポイントの測定レビュー、測定分類（サイズ、白、黒、凹凸）も可能です。
下の画像はLIBRAの操作画面です。測定フローのように、サンプルを設置して開始するだけで、測定の完了から測定のレビュー・分類および測定マップの表示まで自動的に進行します。
事例
ウェハ上0.5μmPSLの全面測定
下の画像はSiCウェハの測定事例です。コンフォーカルと微分干渉の組み合わせで散乱光強度の低い欠陥も検出でき、高解像度の画像を取得しているため、レビューや後からの測定トレースが可能です。オプションのHaze Map機能では表面ラフネスを可視化することができます。
