HYBRID+の特長
多様なニーズに応える6つの機能
2つのコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定の6つの機能を搭載しました。
複数の装置を揃えないと実現できなかった観察・測定が、1台で可能になりました。
白色コンフォーカル
HYBRID＋は白色コンフォーカル顕微鏡の機能を備え、高精細フルカラー観察および高精度3次元形状測定が可能です。
レーザーコンフォーカル
HYBRID＋は白色コンフォーカル顕微鏡と同一の光学系にレーザーコンフォーカル顕微鏡を搭載しています。光源にレーザー光を採用。電子顕微鏡に匹敵する高倍率、高解像度の観察・測定が可能です。
微分干渉観察
コンフォーカル光学系と微分干渉機能との組み合わせで、微小な凹凸形状をリアルタイムに高いコントラストで可視化します。
垂直式白色干渉測定
二光束対物レンズを用いてミリレベルの広範囲をナノレベルの精度で形状測定を行います。
位相シフト干渉測定
光干渉を用いてオングストロームレベルの形状測定を行います。
反射分光膜厚測定
膜干渉を用いて1ミクロン以下の透明薄膜の膜厚測定を行います。
業界最高のスペックでより正確に
レーザー顕微鏡に要求される様々な観察・測定機能において、業界最高水準を実現します。
高速測定
業界最高レベルのフレームレート（15Hz）を実現。パッチワーク、自動測定、自動欠陥検査で効果を発揮します。
高精度測定
水平方向測定、高さ測定ともに「正確さ」と「繰り返し性」で業界最高レベルを実現。
充実の計測・解析機能とサポート機能でより使いやすく
HYBRID+用計測・解析ソフト"LM eye"には簡単に計測・解析を行うためのサポート機能が充実しています。
計測・解析機能
プロファイル計測をはじめ、粗さ測定、膜厚測定などのパラメータを計測・解析する機能です。
計測サポート機能
充実の計測・解析機能とサポート機能でより使いやすくなりました。
自動化への対応でより効率的に
標準機から量産ライン至る各プロセスで、測定ニーズに合った最適な装置をご提供します。
自動測定（LIBRA）
電動ステージと組み合わせ、事前に作成した測定レシピに基づいて自動測定を行うソフトウェアです。閾値を設定することで良否判定も可能。
自動検査（LM Inspect）
基板上の異物や、微小欠陥の自動検査を行うソフトです。欠陥レビュー、ディープラーニングを採用した高精度な分類も可能。
Wシリーズ
量産ラインに対応した全自動搬送システムを備えた装置です。
