ハイブリッドレーザーマイクロスコープ
業界初のハイブリッドレーザー顕微鏡
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垂直式白色干渉測定
垂直式白色干渉測定（Vertical Scanning Interferometry）は、白色光の干渉特性を利用して表面の高さ分布を測定する手法です。光軸方向に連続的にスキャンしながら干渉信号を取得し、干渉縞の包絡線のピーク位置から高さを算出します。この方法により、nmオーダーの高分解能で表面形状を測定することが可能です。
垂直式白色干渉測定は、位相シフト干渉測定と比較して、より広い測定範囲を持ち、段差の大きい試料でも測定が可能です。また、白色光の特性により、表面の反射率や材質の違いによる影響を最小限に抑えることができます。
事例
表面粗さ測定
垂直式白色干渉測定により、nmオーダーの表面粗さを高精度で測定することが可能です。
段差測定
大きな段差を持つ試料でも、連続的なスキャンにより正確な高さ測定が可能です。
3D形状測定
表面の3次元形状を高分解能で測定し、詳細な形状解析が可能です。
透明材料の測定
白色光の特性により、透明材料や半透明材料の表面形状も正確に測定できます。
