レーザーマイクロスコープ
コンフォーカル顕微鏡自動検査/レビュー装置
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超高温観察レーザー顕微鏡システム
アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置
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多波長ウェハ検査装置
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SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置
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